立命館大のナノテク研究施設が完成

立命館大学のナノテク研究施設「マイクロシステムセンター」が完成し、15日、記念式典が開催された。

滋賀県草津市の立命館大学びわこ・くさつキャンパスに建設された「マイクロシステムセンター」は、超微細加工技術やMEMS（微小電子機械システム）の研究を推進するため に、産官学連携型の運営を行う研究施設として位置付けられ、また、理工学研究科および理工学部の院生・学生の実践的教育も行われる予定となっている。

総工費4億円のうち、TOWA株式会社が1億円を拠出し、文部科学省の私立大学学術研究高度化推進事業「オープン・リサーチ・センター整備事業」の補助も受けている。建物には、ドライエッチング装置（Deep RIE）や原子間力顕微鏡（AFM）などを収容し、マイクロファブリケーション技術、マイクロデバイスデザイン技術、マイクロシステム技術、マイクロ機能材料・評価技術などの研究を推進する予定。

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