Webテクノロジー 2007年11月29日 17:30

安川電機、3m 角の超大形マザーガラス基板を37.4秒で搬送するクリーンロボット

著者: japan.internet.com 編集部
2007年11月29日 17:30 付の記事
□国内internet.com発の記事

安川電機は29日、第10世代と呼ばれる2,850×3,050mm サイズの超大形マザーガラス基板を高速で搬送可能なクリーンロボット「MOTOMAN-CDL3000D」を12月1日に発売する。価格はロボット本体とコントローラのセットで2,247万円(総額)。

業界で初めてロボットの上下昇降軸にダブルリンク式支柱機構(昇降ストローク4,000mm)を採用した点が特徴的だ。この支柱機構による高剛性とフレキシブルな動作でアームのたわみが少なく、また、ガラス基板を搭載するハンドのねじれ方向補正は、左右のリンク式支柱による上・下動のひねり動作でレベル調整が可能だ。

さらに、駆動モータや減速機を含めた全体の軽量化、動力伝達系の改善によって、搬送速度はクラス最速を実現する。タクトタイム37.4秒で、ガラスカセットからの取出しから、上昇持ち上げ、ダブルアームでのガラス同時入れ替え、下降中の水平移動、別カセットへの収納、水平移動で原点戻りまでの一連の動作を終えるという。

そのほか、ガラス基板アライメント用専用台車を不要にし、設備費用を削減した。また、ロボットを現地で組立てる必要がないため、設置工数を削減しただけでなく、ライン立ち上げ期間が2分の1以下になった。






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